O kombinaci EUV a DUV vám píše ASML třeba tady:
https://www.asml.com/en/technology (viz odstavec o DUV)
U těch vrstev se ptáte na kterou část? Na počet EUV vrstev? Ty jsou z různých zdrojů, např. https://en.wikipedia.org/wiki/7_nm_process nebo o těch novějších https://seekingalpha.com/article/4379220-asml-continues-to-execute-and-sell-side-keeps-pushing-higher-targets
Jen dodávám, že si nehraju na odborníka. Jen tlumočím to, co jsem tak pochytil z různých zdrojů a jak si to představuju já. Pokud to někdo vysvětlí odborněji, budu rád.