Jde o problémy související s EUV výrobou samotnou, např. zvlnění laserového paprsku nebo stochastický jev, který způsobuje defekty při výrobě. Je jich poměrně dost:
https://en.wikipedia.org/wiki/Extreme_ultraviolet_lithography#EUV_stochastic_issues
O to víc je úžasný, jak to v TSMC zvládli. Ostatně i Samsung má problémy s 5nm procesem (což je cca to samé, co u Intelu 7nm).