ASML plánuje v roce 2024 dodat 55 skenerů pro extrémní ultrafialové (EUV) litografie a přibližně 240 skenerů pro hluboké ultrafialové (DUV) litografie. Kromě toho společnost uvedla, že má v úmyslu dodávat 20 skenerů s vysokou numerickou aperturou (High-NA) ročně do roku 2028.