9. 7. 2021 16:37
tak jsem to našel ... Field size 0.25 and 0.33 NA: 26 mm × 33 mmHigh NA: 26 mm × 16.5 mm teď tedy je max 858mm2 ... s novými čočkami to bude polovina, ale přesnější, menší procesy ...https://en.wikipedia.org/wiki/Extreme_ultraviolet_lithography
Zobrazit všechny