Vyhoda EUV procesu je že citlivosť vykreslovania ja 30x jemnejšia. Tak že ked dnes dokažu klasickym spôsobom vyrabat 7nm čipi, tak s EUV to dokažu až na 0,2 nm. Tak že ak sa im podari odladiť EUV proces tak na 10-15 rokov maju vystarane kym narazia na 0,2nm limit ktory ma EUV proces.